MEMS壓力傳感器主要應用在測量氣囊壓力、燃油壓力、發動機機油壓力、進氣管道壓力及輪胎壓力。這種傳感器用單晶硅作材料,就應用到鉑金絲/金絲焊接單晶硅精密點焊工藝,

在以采用MEMS技術在材料中間制作成力敏膜片,然后在膜片上擴散雜質形成四只應變電阻,再以惠斯頓電橋方式將應變電阻連接成電路,來獲得高靈敏度。車用MEMS壓力傳感器有電容式、壓阻式、差動變壓器式、聲表面波式等幾種常見的形式。


而MEMS加速度計的原理是基于牛頓的經典力學定律,通常由懸掛系統和檢測質量組成,通過微硅質量塊的偏移實現對加速度的檢測,主要用于汽車安全氣囊系統、防滑系統、汽車導航系統和防盜系統等,除了有電容式、壓阻式以外,MEMS加速度計還有壓電式、隧道電流型、諧振式和熱電偶式等形式。其中,電容式MEMS加速度計具有靈敏度高、受溫度影響極小等特點,是MEMS微加速度計中的主流產品。其中貴金屬絲線(鉑金絲/金絲焊接)尤為重要。微陀螺儀是一種角速率傳感器,主要用于汽車導航的GPS信號補償和汽車底盤控制系統,主要有振動式、轉子式等幾種。應用很多的屬于振動陀螺儀,它利用單晶硅或多晶硅的振動質量塊在被基座帶動旋轉時產生的哥氏效應來感測角速度。在其芯片鉑金絲/金絲焊接有為重要,例如汽車在轉彎時,系統通過陀螺儀測量角速度來指示方向盤的轉動是否到位,主動在內側或者外側車輪上加上適當的制動以防止汽車脫離車道,通常,它與低加速度計一起構成主動控制系統。

中國在?MEMS?傳感器領域鉑金絲焊接的研究較晚,但已經成為不可或缺的力量,在創新主體協同格局前提下,加大政府科技資金投入不但可以消解技術創新發展中的資金阻滯,又有助于引導企業或單位技術創新意識,從而提高我國創新驅動效率,促進經濟快速而穩健的發展 。更多焊接工藝問題可留言或者電話咨詢。